隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過(guò)利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
表面光電壓譜系統(tǒng)是一種用于測(cè)量材料光電性質(zhì)的儀器。它通過(guò)測(cè)量材料在外界光照下的電壓響應(yīng),提供了關(guān)于材料光電行為的重要信息。本文將介紹表面光電壓譜系統(tǒng)的工作原理以及其在測(cè)量材料光電性質(zhì)方面的應(yīng)用。該系統(tǒng)的工作原理基于光電效應(yīng),即光照能夠引起材料中電子的激發(fā)和運(yùn)動(dòng)。當(dāng)光照射到材料表面時(shí),光子的能量可以被材料中的電子吸收,使其躍遷到更高能級(jí)。這些激發(fā)的電子可以導(dǎo)致電荷分離和電流的產(chǎn)生,從而形成電壓信號(hào)。系統(tǒng)由光源、光學(xué)系統(tǒng)、樣品臺(tái)、電子學(xué)設(shè)備和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等組成。光源通常使用可調(diào)諧...
一、勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。二、勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm,同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。主...
顆粒物污染已成為全球環(huán)境和健康問(wèn)題的重要挑戰(zhàn)之一。為了有效監(jiān)測(cè)和評(píng)估大氣中的顆粒物濃度和大小分布,科學(xué)家們開(kāi)發(fā)了各種測(cè)量工具和技術(shù)。其中,掃描電遷移率粒徑譜儀(SMPS)作為一種先進(jìn)的儀器,廣泛應(yīng)用于顆粒物測(cè)量領(lǐng)域。本文將討論SMPS在顆粒物測(cè)量中的應(yīng)用。1、顆粒物粒徑分布測(cè)量:掃描電遷移率粒徑譜儀能夠快速、準(zhǔn)確地測(cè)量顆粒物的粒徑分布。通過(guò)使用一個(gè)可調(diào)節(jié)的電子束,SMPS能夠選擇性地捕獲特定粒徑范圍的顆粒物,并通過(guò)測(cè)量其在電場(chǎng)作用下的遷移速率來(lái)確定粒徑。這使得SMPS能夠提供...
高濃度氣溶膠稀釋器是一種用于將高濃度氣溶膠樣品稀釋至可測(cè)試范圍內(nèi)的儀器。正確使用氣溶膠稀釋器非常重要,因?yàn)椴徽_使用可能會(huì)影響結(jié)果的準(zhǔn)確性。以下是使用氣溶膠稀釋器的正確方法。首先,在使用高濃度氣溶膠稀釋器之前,請(qǐng)確保您已經(jīng)閱讀了儀器的說(shuō)明書(shū),熟悉其工作原理和操作步驟。此外,請(qǐng)檢查儀器是否處于良好狀態(tài),并按照廠家的要求進(jìn)行維護(hù)和校準(zhǔn)。接下來(lái),請(qǐng)選擇合適的稀釋比例。每個(gè)實(shí)驗(yàn)都需要不同的稀釋比例,因此請(qǐng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要選擇。在選擇稀釋比例時(shí),應(yīng)考慮到所需的檢測(cè)靈敏度和采樣濃度。然后,準(zhǔn)...
納米顆粒探測(cè)器是一種新興的環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù),能夠檢測(cè)和分析空氣、水和土壤中的微小顆粒。這些顆??赡馨卸净蛭kU(xiǎn)物質(zhì),因此對(duì)于環(huán)境保護(hù)具有重要意義。本文將介紹納米探測(cè)器的原理、應(yīng)用以及對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)的貢獻(xiàn)。首先,讓我們來(lái)了解一下納米顆粒探測(cè)器的工作原理。它們通常由一個(gè)激光器和一個(gè)探測(cè)器組成。激光器會(huì)發(fā)射出一束光線,并照射在空氣或液體中。當(dāng)光線與顆粒相遇時(shí),會(huì)散射回來(lái)并被探測(cè)器捕捉到。通過(guò)計(jì)算捕捉到的反射光強(qiáng)度和方向,可以確定顆粒的大小、形狀和化學(xué)成分。這種方法非常靈敏,可以檢測(cè)到直徑...
一、單原子層逐次沉積,沉積層極均勻的厚度和優(yōu)異的一致性等就體現(xiàn)出來(lái),而沉積速度慢的問(wèn)題就不重要了。以下主要討論原子層沉積原理和化學(xué),原子層沉積與其他相關(guān)技術(shù)的比較,原子層沉積設(shè)備,原子層沉積的應(yīng)用和原子層沉積技術(shù)的發(fā)展。二、通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法(技術(shù))。當(dāng)前驅(qū)體達(dá)到沉積基體表面,它們會(huì)在其表面化學(xué)吸附并發(fā)生表面反應(yīng)。在前驅(qū)體脈沖之間需要用惰性氣體對(duì)原子層沉積反應(yīng)器進(jìn)行清洗。由此可知沉積反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)能否在被沉積...
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